Ni基MEMS的Ni-MoS<,2>润滑层微摩擦特性研究

摘要：

本文研究了Ni-MoS<,2>复合电镀层在不同工艺条件下的结构特征、形貌,并分析了其摩擦特性,发现复合电镀层厚度和MoS<,2>的晶向对摩擦系数影响较大;即使在MoS<,2>含量较少,Ni-MoS<,2>复合镀层的极限剪切模量也比金属Ni降低很多.这为LIGA技术制造自润滑MEMS器件提供了有益的参考并提供低MoS<,2>含量的Ni-MoS<,2>复合材料的一些基本性质.

关键词： MEMS 微电子机械系统 微摩擦特性 润滑层

作者: 张鹏 刘刚 田扬超

作者单位: 中国科学技术大学国家同步辐射实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 45-47

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）