弹载硅微加速度计及其应用研究

摘要：

本文介绍了硅微加速度计的概况,给出了几个弹载硅微加速度计的应用实例,讨论了弹载加速度计应用中需要解决的几个问题,最后给出了一种单检测质量块三轴集成加速度计的结构和工艺设计.

关键词： MEMS 硅微加速度计 过载测试 微机电系统

作者: 张文栋 李永红 董海峰

作者单位: 华北工学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 71-73

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）