MEMS CAD及其模拟软件

摘要：

本文首先讨论了东南大学正在开发的MEMS CAD软件的系统结构和工作流程,然后通过一个器件级模拟的例子对软件的工作进行了说明.

关键词： MEMS CAD 模拟软件 微电子机械系统 自动绘图构件

作者: 黄庆安 匡一宁 秦明 李伟华 章彬 朱柯 鞠瑜华 严先蔚 张昭勇 孟为民 张佩君

作者单位: 东南大学微电子中心(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 91-93

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）