专用集成微型仪器-MEMS未来发展的重要方向

摘要：

该文通过对MEMS近十年来发展的回顾，指出专用集成微型仪器是ＭＥＭＳ未来发展的重要方向之一。文中较详细地阐述了专用集成微型仪器的内涵和急需研究的相关基础理论及关键共性技术，同时分析了专用集成微型仪器未来的主要发展趋势。

关键词： MEMS 微型仪器 微电子技术 微机械技术

作者: 胡松 温志渝 吴英 陈伟民 江永清

作者单位: 大学光电工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 486～489

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）