集成微型压力传感器

摘要：

该文介绍微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）的发展，基本制作工艺及在传感器领域的应用。介绍了利用ＭＥＭＳ技术制造压力传感器的研究现状，重点描述基于硅压阻效应的集成微型压力传感器及其封装技术。这种传感器通过Ｐ－Ｎ结电化学自停止腐蚀技术制作硅膜片，扩散电阻作为压电阻并形成桥路，且带有补偿电路。

关键词： MEMS 传感器 压力传感器

作者: 李旭雯 张文栋

作者单位: 工学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第九届测试技术年会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 397～402

在线出版日期: 1998-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）