MEMS传感器在动态测试中的应用

摘要：

该文在简单介绍ＭＥＭＳ传感器的基础上，重点介绍了有ＭＥＭＳ传感器构成的测量系统，及其在高过载低量程测量中的应用。

关键词： MEMS 传感器 高过载

作者: 翟成瑞 张文栋 周勇军 张斌珍 梁天波

作者单位: 工学院 总参工程兵研究一所 EG&GIC Sensors公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第九届测试技术年会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 497～500

在线出版日期: 1998-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）