C/C复合材料在硅单晶生长炉中应用前景

摘要：

85﹪以上的单晶硅采用直接法(CZ)制备.CZ晶体生长炉热场部件如发热体、坩埚隔热衬套等常用高纯石墨制造,随着晶圆直径的加大,石墨材料的局限性日益明显.炭/炭复合材料的机械性能高于石墨,尺寸稳定性好、耐冲击,通过纯化处理,该材料的金属杂质含量可减低至5ppm以下;C/C复合材料可以组装成复杂大型零件,其组织结构和材料性能的可设计性强.

关键词： 复合材料 碳材料 单晶炉 炉热场

作者: 肖志英 蒋建纯 周九宁

作者单位: 中南大学粉末冶金国家重点实验室(湖南长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国新型炭材料学术研讨会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 531-535

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）