磁控溅射法制备碳氮膜及其结构表征

摘要：

以Ar/N<,2>混合气体作为溅射气体,利用直流磁控溅射的方法制备了碳氮薄膜.利用X射线衍射和红外光谱对碳氮薄膜进行了结构分析.

关键词： 碳化氮 磁控溅射 制膜 结构表征

作者: 王继刚 李红 张旭海 李凡 蒋建清

作者单位: 东南大学材料科学与工程系(江苏南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国新型炭材料学术研讨会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 512-515

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）