氮气流量对金刚石膜品质的影响研究

摘要：

采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜,研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌、膜品质的影响.

关键词： 膜材料 金刚石膜 气相沉积法 氮杂质

作者: 李明吉 吕宪义 孙宝茹 李春燕 李博 金曾孙

作者单位: 吉林大学超硬材料国家重点实验室(吉林长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国新型炭材料学术研讨会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 483-487

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）