MPCVD製程功率对成长奈米碳管及场发射特性的影响

摘要：

本研究利用直流磁控溅镀方式製備镍膜做为催化剂,使用甲烷、氢氣为反应气体,利用微波电浆化学气相沉积法成长奈米碳管,并探讨对制程功率对奈米碳管的外观及结构的影响,并且在低温(~500℃)不施加任何外加偏壓下合成出高密度的奈米碳管,并量测其场发射效应之起始电壓与电流密度.

关键词： 纳米材料 纳米碳管 气相沉积法 微波电浆

作者: 盧阳明 羅啟銘 邱松茂

作者单位: 崑山科技大学电子工程系,奈米技术研究发展中心 金属工业研究发展中心,精微成形研发处,处理组

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国新型炭材料学术研讨会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 453-455

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）