半导体激光器在尺寸测量系统中的应用

摘要：

本文介绍的尺寸测量系统采用半导体激光器作光源,可对非回转体类零件的位置尺寸进行非接触在线测量,并可根据测量结果实时输出反馈控制信号,对生产过程实现闭环控制和在线检测.本文最后还给出了实验结果和误差分析,根据数据对比可知,该测量系统的测量误差≤±4μm.

关键词： 半导体激光器 尺寸测量 在线检测 测量误差

作者: 张洪涛 张国玉

作者单位: 装甲兵技术学院电子系武器光学教研室(吉林长春) 长春理工大学光电工程学院(吉林长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十二届测试技术学术年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 114-116

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）