微机械三维加速度传感器结构及原理分析

摘要：

本文综合国内外研究情况,介绍了几种微机械三维加速度传感器的结构,包括单质量块-弹性梁结构、双质量块六梁结构、四质量块结构、梳齿式结构,并对每种结构传感器的工作原理进行了分析.

关键词： 三维加速度 传感器 微机械 双质量块

作者: 余尚江 李科杰

作者单位: 北京理工大学机电工程学院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十二届测试技术学术年会

会议地点: 北海

会议语种:中文

页码: 5-11

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）