微通道板技术

摘要：

本文针对军用夜视仪中的关键部件微通道板,简述了微通道板的基本原理,讨论了微通道板传统加工工艺的优缺点,并结合MEMS技术的发展,说明了新型工艺在加工中的优势,最后阐述了目前我国微通道板与世界强国之间的差距.

关键词： 微通道板 深槽刻蚀 微机电 电子倍增器

作者: 石云波 郭涛 刘俊

作者单位: 国家教育部”仪器科学与动态测试”重点实验室,华北工学院电子科学与技术系(太原)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十二届测试技术学术年会

会议地点: 北海

会议语种:中文

页码: 29-32

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）