MEMS与磁传感器

摘要：

本文介绍了MEMS的发展及两种微型磁传感器,微磁通门传感器和微磁阻传感器,简要阐述了它们的基本结构和敏感机理,从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分.

关键词： 微磁阻 传感器 微磁通门 微机电

作者: 张瑞平 刘俊

作者单位: 教育部仪器科学与动态测试重点实验室;华北工学院电子科学与技术系(山西太原)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十二届测试技术学术年会

会议地点: 北海

会议语种:中文

页码: 26-28

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）