一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路的设计

摘要：

本文研究了一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路.与多数处理电路不同的是,本文以精密仪表运放为核心,设计了一种低温漂,高放大倍数的纳安级电流放大和反馈电路,该电路包括A/V转换、差分放大、信号滤波、电压跟随、电压反馈五部分组成,电路采用了尽量少的分立元件.分析了隧道电流与反馈控制电压及隧道电极间距离的关系.

关键词： 硅微加速度计 隧道电流 反馈放大电路 差分电路

作者: 沈三民 张文栋 刘俊

作者单位: 仪器科学与动态测试技术教育部重点实验室,山西太原华北工学院电子科学与技术系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十二届测试技术学术年会

会议地点: 北海

会议语种:中文

页码: 22-25

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）