新型MEMS氨气传感器的测试

摘要：

本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.

关键词： 微机电 氨气 传感器 气敏器件

作者: 王灵婕 陈盛 林吉申

作者单位: 物理与信息工程学院福州大学(福州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十二届测试技术学术年会

会议地点: 北海

会议语种:中文

页码: 19-21

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）