脉冲电弧蒸发源的研究

摘要：

本文介绍西安工业学院研制的脉冲电弧蒸发源的原理和关键技术,利用该源镀制的类金钢石薄膜及镍铬铁合金渐变膜的性能指标.

关键词： 脉冲电弧 蒸发源 离子镀 类金刚石膜 薄膜 脉冲电弧蒸发源 镍铬铁合金渐变膜 脉冲电弧离子镀

作者: 严一心 朱昌 杭凌侠 弥谦 蔡长龙 徐均琪 吴玲玲

作者单位: 西安工业学院(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会薄膜技术学术研讨会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 92-94

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）