真空技术在航空机电部件制造中的应用

摘要：

真空技术在航空工业发展中得到越来越广泛的应用,以满足新型飞机高速发展对航空机电部件制造提出的越来越苛刻的技术要求.本文初步探讨了真空技术在:纳米加工、微电子电路、平板显示器件、光电传感器和微机电系统制造等航空机电产品关键制造技术开发中的应用.

关键词： 机电产品制造技术 纳米加工 平板显示 微机电系统 航空机电部件 光电传感器

作者: 朴英 于维凤

作者单位: 清华大学热能系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会薄膜技术学术研讨会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 89-91

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）