水热法制备锡掺杂氧化钛薄膜工艺因素研究

摘要：

以Ti(SO<,4>)<,2>为前驱物,尿素为沉淀剂,SnCl<,4>为掺杂剂,采用水热法制备出Sn-TiO<,2>薄膜.利用XRD、SEM和UV-VIS等测试手段对薄膜的物相、表面形貌和吸光性等进行了表征.研究了Ti(SO<,4>)<,2>的浓度、SnCl<,4>的掺入量、水热反应温度和保温时间对制备Sn-TiO<,2>薄膜的影响.结果表明,在一定工艺条件下,可制备出均匀、致密,无可视缺陷厚度约160nm的Sn-TiO<,2>薄膜.

关键词： 掺锡二氧化钛 薄膜 水热法 工艺因素 集成电路 铜互联布线 扩散阻挡层 铜沉积技术

作者: 丁常胜 苗鸿雁 罗宏杰 王秀峰

作者单位: 陕西科技大学材料科学与工程学院(咸阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会薄膜技术学术研讨会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 82-85

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）