低压ZnO压敏薄膜制备与研究

摘要：

以GDARE法沉积的低压ZnO压敏薄膜为多孔性超微粒结构,沿c轴高度取向.经一定温度热处理后,薄膜具有较好的非线性V-I特性,漏电流小,压敏电压低.温度对薄膜的V-I特性影响较大.文章讨论了ZnO低压压敏薄膜的导电机理.

关键词： ZnO低压压敏薄膜 结构 非线性系数 压敏电压 直流沉积法

作者: 陆慧 滕月莉 殷海波 陆元成 潘孝仁

作者单位: 华东理工大学物理系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会薄膜技术学术研讨会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 68-70

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）