实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响

摘要：

从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过程中起到了混合效应和沟道效应的作用.

关键词： Co-Cu合金薄膜 离子束辅助沉积 入射角度 织构 易磁化 透射电子显微镜

作者: 曾飞 高阳 樊宇伟 潘峰

作者单位: 清华大学材料系先进材料教育部重点实验室清华大学材料与工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会薄膜技术学术研讨会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 17-19

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）