弹性反冲探测技术在材料分析中的应用

摘要：

利用HI-13串列加速器提供的高品质的<”127>I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析.用ΔE-E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20~30nm.用Q3D磁谱仪及其焦面探测器的高分辨动量分析,得到了纳米量级的深度分辨,此方法具有对纳米厚度的多层薄膜材料进行测试的能力.

关键词： 核分析技术 弹性反冲探测 薄膜材料 纳米材料 深度分辨

作者: 路秀琴 符长波 周平 郭继宇 赵葵 李淑媛 刘建成 倪嵋楠 隋丽

作者单位: 中国原子能科学研究院核物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届北京核学会核应用技术学术交流会

会议地点: 延吉

会议语种:中文

页码: 107-110

在线出版日期: 2004-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）