热处理条件对溶胶-凝胶法制备多孔TiO<,2>薄膜微观结构的影响

摘要：

以钛酸异丁酯为先驱物,乙二醇甲醚为溶剂,羟基纤维素(HPC)为添加剂,用溶胶-凝胶法制备了厚度在270nm~420nm的多孔TiO<,2>薄膜.重点研究了薄膜微观形貌与热处理时间的关系,并对薄膜的截面电阻率进行了研究.在二次热处理温度550℃下处理60min下得到多孔、厚度最大,截面电阻率最小的TiO<,2>薄膜.

关键词： 二氧化钛薄膜 多孔薄膜 热处理条件 纤维素 溶胶凝胶法

作者: 杨金坚 赵高凌 韩高荣

作者单位: 浙江大学硅材料国家重点实验室(浙江杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国溶胶-凝胶科学技术学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 250-253

在线出版日期: 2004-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）