1GHz CW 100W LDMOSFET研制

摘要：

简要介绍了微波功率LDMOSFET的优点、应用领域和当前的研究现状.报道了采用难熔金属Mo栅工艺技术,设计研制出的高性能微波功率LDMOSFET.

关键词： 微波功率 沟道长度 共源推挽方式 器件连续波 功率增益 漏极效率

作者: 刘英坤 邓建国 郎秀兰 张颖秋 吴坚 李明月

作者单位: 河北半导体研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国国际集成电路产业展览暨北京微电子国际研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 226-229

在线出版日期: 2005-08-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）