X射线三轴衍射摇摆曲线的计算机模拟

摘要：

本文运用X射线衍射的动力学理论模拟了近完整的InP晶体以及碲镉汞外延材料的X射线三轴衍射摇摆曲线.模拟结果表明InP单晶的三轴摇摆曲线能很好的理论拟合,而对于非完整单晶碲镉汞外延材料,运用所建立的模型也能够很好的理论模拟.研究结果也表明,高分辨X射线衍射的计算机模拟是评价材料晶格完整性一种非常有效的方法.

关键词： X射线三轴衍射 碲镉汞外延材料 计算机模拟 Pseudo-Voigt函数

作者: 王庆学 魏彦锋 杨建荣 何力

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所半导体材料与器件研究中心(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 59-64

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）