化学气相沉积法制备ZnO纳米棒及其发光性能研究

摘要：

本文采用低温化学气相沉积法在500-570℃硅衬底上直接生长出了ZnO纳米棒.所得ZnO纳米棒在硅衬底上分布均匀,平均直接为150nm,长度约为3-5μm,具有六方纤锌矿结构,并且沿(002)方向定向生长.样品的吸收峰在365nm处,在325nm激发波长激发下发光光谱由386nm附近的近带加强紫外发射峰和506nm附近的弱绿光发射峰组成.

关键词： 氧化锌 纳米棒 化学气相沉积法 光致发光

作者: 方云英 桑文斌 贺英 闵嘉华 滕建勇 郭昀

作者单位: 上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 55-59

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）