提高TEM测量结果的精度

摘要：

针对半导体制造中的TEM检测,本文就仪器的操作及仪器放大倍率的标定这两个方面讨论了如何提高TEM测量结果的精度问题.

关键词： 半导体制造 透射电镜 测量精度

作者: 陈一 朱烨 王宏培 胡岗

作者单位: 国家微分析中心,复旦大学材料科学系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 43-46

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）