磁场拉晶技术综述

摘要：

磁场拉晶技术对直拉单晶来说,已显得越来越重要.本文阐述磁场拉晶技术的基本原理,对几种不同拉晶磁场类型的特点进行了分析,同时介绍了国内磁场设备的制造状况.

关键词： 单晶拉制 磁场类型 磁场设备

作者: 施承启

作者单位: 上海合晶硅材料有限公司(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 30-36

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）