提拉法中的固液界面形状数值模拟

摘要：

本文通过ANSYS软件,利用有限元数值模拟方法,在轴向温度梯度为25℃/cm和提拉速率为1.2mm/h的条件下,对提拉法生长PbMoO<,4>晶体过程中,晶体旋转速率改变对固液界面形状的影响作了研究.模拟结果表明,随着晶体旋转速率的增加,固液界面经历了由凸到平再到凹的变化过程,这与实际晶体生长过程中所观察到的结果相一致,同时也印证了界面翻转理论.

关键词： 提拉法 固液界面 氧化物半导体 晶体生长 界面翻转

作者: 陈龙 桑文斌 王林军 闵家华

作者单位: 上海大学材料科学与工程学院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 87-97

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）