氧化物光学镀膜材料发展现状

摘要：

本文简要介绍了上海市用于半导体和其它器件上光学和红外镀膜的高品位氧化物材料的性能指标和生产状况,以及其它常用镀膜材料的性能规格.也简述了珍稀贵重的新型镀膜材料的发展前景.

关键词： 光学镀膜 氧化物 薄膜元件 镀膜材料

作者: 吴孝干 陈伯良

作者单位: 上海特旺光电材料有限公司(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 103-104

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）