RF-MEMS电感高效精确建模

摘要：

本文针对RF-MEMS电感的设计首次采用双Π模型并考虑到邻近效应、电容耦合效应,模型中所有单元的参数均引用较为准确传输线计算公式.由于避免了复杂电磁场数值计算,缩减了仿真过程时间;相对于单Π模型,双Π模型由于考虑多个效应仿真结果能很好地接近实测值,保证了该模型的仿真准确性.

关键词： MEMS 片上螺旋电感 双П模型 射频

作者: 许殿 史小卫

作者单位: 西安电子科技大学理学院(陕西西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003全国微波毫米波会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1109-1112

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）