微波近场技术在电子材料研究中的应用

摘要：

利用微波近场技术可以研究材料表面电磁性质的空间分布.本文报导了我们研制的扫描微波近场显微镜,通过建立可变温样品台,有效地扩展了微波近场显微镜的应用范围.利用扫描微波近场显微镜我们详细研究了金属薄膜、超导薄膜、介质、磁性材料等多种电子材料的电磁性质,给出了相关实验结果.研究表明微波近场技术为电子材料和器件电磁性质的空间分布检测提供了有利的手段.

关键词： 集成电路 微波近场技术 显微镜 电子材料 电磁 薄膜

作者: 冯一军 吴立勇 汪凯罗 姜田

作者单位: 南京大学电子科学与工程系(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003全国微波毫米波会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 457-460

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）