基于CMOS工艺芯片互连线的全电荷格林函数法分析与测试

摘要：

本文采用了全电荷格林函数法分析基于典型CMOS工艺下的互连线系统的电特性,对共面传输线的互连电容和电导在0~10GHz的频域特性进行了求解,并与实际测试结果进行了比较,一致性很好.

关键词： 互连电容 全电荷格林函数法 芯片 共面传输线 频域特性

作者: 代文亮 李征帆

作者单位: 上海交通大学电子工程系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003全国微波毫米波会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 449-452

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）