过孔附加电容的计算

摘要：

在高密度芯片中,层与层之间的联系主要是通过过孔来连接的,那么,过孔的附加电容在分析芯片的电特性中就必须考虑.本文利用DDM-CM理论,对过孔结构进行了简单分析,得出了一个简单、比较精确的附加电容的解析表达式,并和已发表的文献结果作了比较,结果吻合.

关键词： DDM-CM理论 附加电容 过孔附加电容 芯片

作者: 赵吉祥 毛军发

作者单位: 上海交通大学电子工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003全国微波毫米波会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 315-318

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）