Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构
利用激光拉曼光谱仪测量了SiC单晶中不同多型的显微Raman光谱.在Raman光谱中,最大强度的FTA模和FTO模应出现在其简约波矢x等于该多型的六角度h处,据此对4H-SiC单晶中的多型进行了鉴定.同时采用高分辨X射线衍射测量了该晶片不同区域的摇摆曲线,将不同多型体的计算衍射角与实验值加以比较,对SiC晶片中的多型进行了标注,所得结论与激光Raman光谱测定结果相一致,说明Raman光谱是一种简单、快速地鉴定多型结构的强有力的工具.实验结果表明,在升华法生长4H-SiC单晶过程中,容易出现寄生6H、15R多型同4H多型的竞争生长,简单分析了寄生多型产生的原因.
显微激光 Raman光谱 X射线摇摆曲线 SiC单晶 多型鉴定
王丽 胡小波 董捷 李娟 姜守振 李现祥 徐现刚 王继扬 蒋民华
山东大学晶体材料国家重点实验室(山东济南)
国内会议
秦皇岛
中文
3400-3404
2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）