金刚石膜中氮杂质状态的研究
用EA-CVD(Electron assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备出金刚石膜,并且用拉曼光谱、荧光谱、红外吸收谱和顺磁共振谱研究了金刚石膜中的氮杂质.实验结果表明,用EA-CVD方法制备的金刚石膜中氮杂质主要是以N<,s><”0>、N<,s><”+>、”N-V”<”0>和”N-V”<”-1>的形式存在,没有检测到在天然金刚石和高温高压金刚石中常见的A和B中心形式存在的氮杂质.沉积实验中随着氢气流量的增加,也就是金刚石膜沉积环境中氮浓度的减少,金刚石膜中氮杂质含量减少.
EA-CVD方法 金刚石膜 氮杂质 氢气流量
金曾孙 吕宪义 杨广亮 吴汉华 李哲奎 刘建设
吉林大学超硬材料国家重点实验室(吉林长春) 延边大学物理系(吉林延吉) 河南黄河旋风有限责任公司(河南长葛)
国内会议
秦皇岛
中文
3314-3316,3319
2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）