SrTiO<,3>薄膜材料的高分辨率X射线衍射分析研究

摘要：

本文应用高分辨X射线衍射(HRXRD+TAXRD)技术对外延生长的SrTiO<,3>膜进行了分析,获得了有关该薄膜的晶体取向、衬底的结构特性以及弛豫态的点阵常数等信息,对今后改进SrTiO<,3>系列样品生长工艺有重要的意义.

关键词： 高分辨X射线衍射 外延生长 弛豫态的点阵常数 SrTiO<,3>薄膜

作者: 姬洪 左长明 何士明 熊杰 李言荣

作者单位: 电子科技大学微电子与固体电子学院(四川成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 3311-3313

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）