大口径镀膜机均匀性的研究

摘要：

对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.

关键词： 薄膜 均匀性 修正挡板 蒸发源 镀膜机 膜厚度

作者: 董磊 方明 易葵 范瑞瑛 邵建达 范正修

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 3216-3220

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）