PVD薄膜生长的Monte Carlo模拟

摘要：

蒙特卡罗(Monte Carlo,MC)和分子动力学是模拟薄膜生长的两种基本方法.本文结合各种PVD技术的工艺特点,介绍了薄膜生长的Monte Carlo模拟.详尽地总结了载能粒子沉积薄膜生长的Kinetic Monte Carlo模型和算法,最后指出建立精细的模型、算法并适当应用分子动力学是提高模拟可靠性的方法.

关键词： 物理气相沉积 蒙特卡罗模拟 薄膜生长

作者: 单英春 赫晓东 李明伟 李垚 史丽萍

作者单位: 哈尔滨工业大学复合材料研究所(黑龙江哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 3205-3208

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）