氮气流量对电弧离子镀TiN薄膜性能的影响

摘要：

氮化钛是一种应用较广泛的硬质薄膜,其性能受许多因素的影响,本文只改变氮气流量,固定其它工艺参数,对镀覆的氮化钛薄膜性能进行了分析和研究,得出了获得较好氮化钛薄膜综合性能的氮气流量.

关键词： 离子镀 氮化钛 氮气流量 薄膜性能

作者: 李春明 史新伟 邱万奇 刘正义

作者单位: 华南理工大学机械学院(广东广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 3165-3170

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）