基片上薄膜生长过程的计算机模拟
根据薄膜的成核统计理论,考虑吸附粒子的碰撞、迁移、蒸发等因素,针对薄膜单层和多层核生长类型的生长,用计算机进行仿真模拟.同时研究了几种因素对粒子沉积成膜的影响.根据计算机模拟情况,得出了粒子百分变化与成团粒子百分变化关系、生长过程对粒子沉积成膜的影响.论证了按成核理论下的随机统计规律生成的多层粒子膜,其厚度方面的不均匀性与实际是一致的.并给出了计算机模拟研究薄膜微观生长过程的立体图象.
薄膜生长 计算机模拟 三维刚球模型 再蒸发 测射
刘昌辉 何华辉
华中科技大学电子科学与技术系(武汉)
国内会议
秦皇岛
中文
3010-3014
2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）