ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器的制备和性质表征
以ZnO纳米粉(平均粒径30nm)为原料,利用水热热压方法制备了多孔的ZnO体块纳米固体,测试了以多孔纳米固体为原料制成的厚膜气敏传感器对挥发性有机化合物(VOCs)乙醇、丙酮、苯、甲苯和二甲苯蒸气的气敏特性,并与用ZnO纳米粉制备的厚膜传感器进行了比较.结果发现,与ZnO纳米粉相比,用ZnO多孔纳米固体制备的厚膜传感器在空气中的电阻大大减小,最佳敏感温度降低、响应时间和恢复时间大大缩短.通过综合分析ZnO纳米粉和ZnO多孔纳米固体的XRD、TEM及厚膜传感器的SEM测试结果研究了厚膜传感器气敏特性的差异.
ZnO多孔纳米固体 气敏传感器 响应时间
徐红燕 刘秀琳 李梅 余丽丽 王成建 蒋民华 崔得良
山东大学晶体材料国家重点实验室(山东济南) 山东大学物理与微电子学院(山东济南)
国内会议
秦皇岛
中文
2930-2933
2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）