钙钛矿型氧化物SrTiO<,3>/BaTiO<,3>多层膜的激光分子束外延生长研究

摘要：

用激光分子束外延技术在SrTiO<,3>(001)衬底上外延生长SrTiO<,3>/BaTiO<,3>多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X射线衍射(XRD)对外延薄膜进行了结构分析,结果表明薄膜具有二维生长模式,在基片温度为380~470℃之间生长的薄膜具有原子级光滑,并且具有完全C轴取向.同时运用X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜界面的互扩散,结果表明降低制备薄膜时的基片温度有利于减少互扩散.

关键词： SrTiO<,3>/BaTiO<,3> 多层膜 反射式高能电子衍射 原子力显微镜 激光分子束

作者: 姚海军 李燕 罗佳慧 姜斌 邓宏 蒋书文

作者单位: 电子科技大学微电子与固体电子学院(四川成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 2890-2893,2897

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）