会议专题

一种新型MEMS共面波导传输线的理论研究

本文提出了一种适合于MEMS的新颖桥式共面波导(BCPW)结构,采用准静态分析方法对其特征阻抗、导体损耗、介质损耗等基本参数进行了系统的理论计算,并与传统共面波导进行了比较分析,结果表明,新设计具有无辐射损耗、宽阻、低损耗、对加工工艺要求低等显著优点.

桥式共面波导 MEMS加工技术 特征阻抗 导体损耗 介质损耗 传输线

蒋振新 丁桂甫 杨春生 张永华

上海交通大学薄膜与微细加工技术教育部开放实验室(上海)

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1103-1108

2003-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)