射频MEMS移相器研究进展

摘要：

微波与毫米波移相器是通讯和雷达应用上相控阵天线的基本单元,在移相器设计中用最小损耗的MEMS开关达到大量减少移相器插入损耗的方法,是移相器向毫米波高频方向应用的创新,可以降低器件的功耗,改善插入损耗、隔离度、频带宽度等性能.介绍了用于射频的MEMS开关及基于MEMS开关的移相器的研究进展.

关键词： 射频 微电子机械系统 开关 移相器 相控阵天线

作者: 张永华 丁桂甫 蔡炳初 沈民谊

作者单位: 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003全国微波毫米波会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1086-1091

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）