超硬超厚类金刚石薄膜合成研究

摘要：

采用过滤真空阴极直流弧源(Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.

关键词： DLC 类金刚石薄膜 超硬超厚 沉积偏压

作者: 张文英 黄楠 孙鸿 冷永祥 杨文茂 陈俊英

作者单位: 西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室;四川省人工器官重点实验室(四川成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 2178-2179,2182

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）