ZnO:Ga透明导电膜的低温制备及特性研究

摘要：

采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上低温制备出高质量的镓掺杂氧化锌(ZnO:Ga)透明导电膜,对薄膜的结构和光电特性以及制备参数对薄膜性能的影响进行了研究.制备的ZnO:Ga是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜,最佳择优取向为(002)方向.薄膜的最低电阻率达到了3.9×10<”-4>Ωcm,方块电阻~4.6Ω/□,薄膜具有良好的附着性,在可见光区的平均透过率达到90﹪以上.

关键词： ZnO:Ga 光电特性 透明导电膜 溅射

作者: 余旭浒 马瑾 计峰 王玉恒 宗福建 张锡健 程传福 马洪磊

作者单位: 山东大学物理与微电子学院(山东济南) 山东师范大学物理系(山东济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 1131-1133

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）