基于CPW的MEMS开关的有限元分析

摘要：

-MEMS膜开关是二十世纪九十年代发展起来的一种新型的开关结构,它由一个受直流偏压控制的薄金属膜构成.MEMS开关特性由开关结构的参数和频率决定.在这篇文章里,通过应用有限元分析法确定了工作频率在38GHz的单一MEMS开关的结构参数.

关键词： 开关 有限元分析 工作频率 共面波导

作者: 于成 张沛玲 仲顺安

作者单位: 北京理工大学电子工程系微电子研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003全国微波毫米波会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1127-1129

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）