Sn<,0.5>Ti<,0.5>O<,2>固溶体薄膜的制备及其气敏特性研究

摘要：

采用溶胶凝胶法制备了Sn<,0.5>Ti<,0.5>O<,2>固溶体.用X射线衍射(XRD)和红外(IR)技术对材料的结构和热稳定性进行了分析表征.固溶体的热稳定性与起始反应温度有关,40℃水浴制备的凝胶经过1000℃烧结就发生了相分解,出现了富Sn、富Ti相,而80℃水浴制备的凝胶经过1200℃烧结也不发生相分解,仍以Sn<,0.5>Ti<,0.5>O<,2>相存在.将胶体制成了薄膜元件并测试了元件的气敏性能,发现此元件对H<,2>S气体有一定的灵敏度.

关键词： 溶胶-凝胶法 Sn<,0.5>Ti<,0.5>O<,2> 热稳定性 气敏性 薄膜元件

作者: 刘凤敏 全宝富 陈丽华 刘志强 于连香 刘奎学

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院(吉林长春) 吉林大学化学科学学院(吉林长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 2029-2031

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）