溅射沉积法制备金薄膜的结构特性

摘要：

在不同的生长阶段Au膜具有不同的表面微结构.随着厚度的增加,薄膜晶粒要经历成核、正常晶粒生长和反常晶粒生长过程,在不同的过程中Au膜呈现出不同的表面形貌.在正常晶粒生长阶段,薄膜晶粒呈柱状生长;随后的反常晶粒生长过程中会出现晶粒吸收现象,使具有较优取向的晶粒越长越大.X射线衍射图(XRD)显示Au膜具有(111)面取向优势.利用LSW理论模型计算并解释了晶粒反常生长过程.

关键词： 正常晶粒生长 反常晶粒生长 LSW理论模型 金薄膜

作者: 关博 江勇 许小亮

作者单位: 中国科技大学少年班(安徽合肥);中科院结构分析重点实验室(安徽合肥) 中国科技大学物理系(安徽合肥);中科院结构分析重点实验室(安徽合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 3238-3242

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）